激光剝離(Laser-Lift-Off)作為柔性OLED制程的核心工藝之一，長期被韓國設備供應商所壟斷。亞威艾歐斯通過引進技術再創新，與德國通快公司密切合作，大幅縮短了研發進程，在關鍵指標和工藝性能方面均達到進口設備水平。
 

　　我司DPSS-LLO激光剝離設備的研制成功，標志著先進激光技術的應用在國產化進程中取得了重要突破。
 

【DPSS激光剝離設備】
 

　　DPSS激光剝離是指通過固體納秒紫外激光輻照，實現有機發光顯示器件(PI膜)與搭載的玻璃基板分離，與傳統的準分子脈沖激光剝離相比，具有能量輸入穩定、生產效率高、不需要定期更換工作氣體等優勢。
 

　　據媒體報道Samsung Display其A3線主要采用了DPSS LLO設備，因DPSS技術較準分子激光器使用和維護成本低，并可以減少設備采購總數量。
 

【激光剝離工藝示意圖】
 

　　亞威艾歐斯激光剝離設備搭載的DPSS激光光學系統，能量利用率達85%以上。中德韓聯合研發的“Z”型折疊光路，將整個線光斑光學系統長度縮短30%。該系統整形后的線光斑長度400-750mm(可調節)、寬度30μm，可同時應對黃色和透明PI兩種產品的激光剝離工藝，且工藝品質及加工效率有大幅度提升。
 

【光路示意圖】
 

【線光斑】
 

【激光剝離柔性顯示屏樣品】
 

　　亞威艾歐斯激光剝離設備，已對國內數家顯示面板廠商提供的樣品進行了測試，效果良好，達到客戶技術要求。
 

　　隨著顯示面板企業對使用成本和效率要求的不斷提高，導入DPSS激光剝離工藝是大勢所趨，亞威艾歐斯將繼續努力并與客戶密切協同，加快實現量產交付，為柔性OLED制程關鍵設備的進口替代做出貢獻。